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本发明实施例提供的纳米线结构及其制造方法，在衬底上形成了鳍，鳍的两侧壁上对应设置有槽口，而后在鳍的中部区域形成开口，由于槽口的存在，使得鳍在槽口处的厚度更小一些，在后续利用开口进行氧化工艺的过程中，最薄的槽口处的鳍先被完全氧化，而非槽口处的...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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