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包括凹入式栅电极部分的半导体器件制造技术
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下载包括凹入式栅电极部分的半导体器件的技术资料
文档序号:18786599
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半导体器件可以包括衬底上的第一有源图案,第一有源图案包括从衬底突出的多个第一有源区。第二有源图案可以在衬底上,包括从衬底突出的多个第二有源区。第一栅电极可以包括以第一高度在第一有源图案上延伸的上部,并且包括以比第一栅电极的第一高度低的第二高...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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