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本发明提供一种下电极结构及工艺腔室，所述下电极结构包括基台和位于基台下方的红外加热装置，红外加热装置包括多个真空电极和和多个红外加热管，由真空电极为红外加热管供电，使红外加热管产生红外线，利用红外加热方式为待加工工件加热，用红外加热装置代替...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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