下载半导体存储器件结构及其制作方法的技术资料

文档序号:18765829

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本发明提供一种半导体存储器件结构及其制作方法,半导体存储器件结构包括半导体衬底、双面电容器、底部支撑层、中部支撑层及顶部支撑层。半导体衬底具有多个电容触点,双面电容器包括第一导电层、覆盖于第一导电层的电容介质层、及覆盖于电容介质层的第二导电...
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