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本发明涉及使用模型确定与等离子体系统关联的离子能量，具体描述了用于确定离子能量的系统和方法。这些方法中的一种包括：检测发生器的输出以识别出发生器输出复电压和电流(V&I)。所述发生器耦合到阻抗匹配电路，而所述阻抗匹配电路耦合到静电卡盘(ES...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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