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一种基板处理装置包括一底座、一基板载台、多个收集单元和一阻却单元。基板载台可旋转得和底座连接，基板载台用以固定和旋转基板。多个收集单元环绕于基板载台外围，多个收集单元间为固定式设置，各收集单元用以收集处理基板的一处理液。阻却单元设置于基板载...
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