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描述了一种平台和水平传感器的组合，配置成感测物体上的目标部位(T)处的高度水平，所述平台包括：配置成保持物体的物体台；和定位装置，该定位装置用于沿第一方向(Y)相对于水平传感器移位所述物体台，所述水平传感器包括：投影系统，配置成将测量束(8...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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