温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种振动隔离系统(VIS)，该振动隔离系统包括：基座(10)；用于联接到振动敏感物体的联接元件(20)；布置在基座与联接元件之间的振动隔离器(30‑34)；用于布置在联接元件或振动隔离器与包围振动敏感物体的保护壳体(40)之间的波...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。