The invention relates to a vibration isolation system (VIS), which comprises a base (10), a connecting element (20) connected to a vibratory sensitive object, an vibration isolator (30) arranged between the base and the connecting element (30), and a protective shell for arranging a connecting element or a vibration isolator and a vibrating sensitive object. 40) bellows (50); and one or more separate damping elements acting on the gyrations of bellows.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】振动隔离系统和光刻设备相关申请的交叉引用本申请要求于2015年11月10日递交的欧洲申请15193855.2的优先权，该欧洲专利申请的全部内容以引用的方式并入本文中。
本专利技术涉及一种振动隔离系统和一种包括这种振动隔离系统的光刻设备。
技术介绍
光刻设备是将所需的图案施加至衬底(通常为衬底的目标部分)上的机器。光刻设备可以用于例如集成电路(IC)的制造。在这种情况下，可替代地被称作掩模或掩模版的图案形成装置可以用于产生要在IC的单层上形成的电路图案。该图案可以被转移到衬底(例如硅晶片)上的目标部分(例如包括管芯的一部分、一个或多个管芯)上。通常通过成像到设置在衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上实现图案的转移。通常，单个衬底将包含被连续图案化的相邻目标部分的网络。常规的光刻设备包括所谓的步进器和所谓的扫描器；在步进器中，通过将整个图案一次曝光到目标部分上来辐射每一个目标部分；在扫描器中，通过辐射束沿给定方向(“扫描”方向)扫描所述图案、同时沿与该方向平行或反向平行的方向同步地扫描所述衬底来辐射每一个目标部分。另外，能够通过将图案压印到衬底上来将图案从图案形成装置转...
【技术保护点】
1.一种振动隔离系统，包括：基座；用于联接到振动敏感物体的联接元件；布置在所述基座与所述联接元件之间的振动隔离器；用于布置在所述联接元件或所述振动隔离器与围绕所述振动敏感物体的保护壳体之间的波纹管；和作用在所述波纹管的回旋上的一个或更多个分离开的阻尼元件，其中所述一个或更多个分离开的阻尼元件构造成对于预定的频率范围使包括所述分离开的阻尼元件的波纹管的组合的动态刚度降低到所述振动隔离器的动态刚度以下。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.10 EP 15193855.21.一种振动隔离系统，包括：基座；用于联接到振动敏感物体的联接元件；布置在所述基座与所述联接元件之间的振动隔离器；用于布置在所述联接元件或所述振动隔离器与围绕所述振动敏感物体的保护壳体之间的波纹管；和作用在所述波纹管的回旋上的一个或更多个分离开的阻尼元件，其中所述一个或更多个分离开的阻尼元件构造成对于预定的频率范围使包括所述分离开的阻尼元件的波纹管的组合的动态刚度降低到所述振动隔离器的动态刚度以下。2.根据权利要求1所述的振动隔离系统，其中对于相关本征模式所述分离开的阻尼元件仅作用在所述波纹管的经受相对高的变形的回旋上，其中所述相关本征模式被定义为所述预定的频率范围内的在不具有分离开的阻尼元件的情况下所述波纹管的动态刚度高于所述振动隔离器的动态刚度的本征模式。3.根据权利要求1所述的振动隔离系统，其中所述分离开的阻尼元件是布置在所述回旋中的O形环。4.根据权利要求3所述的振动隔离系统，其中所述O形环布置在所述波纹管的外部。5.根据权利要求1所述的振动隔离系统，其中所述振动隔离器包括气垫式避震器。6.根据权利要求1所述的振动隔离系统，其中所述预定的频率范围是0.1至2000Hz。7.根据权利要求1所述的振动隔离系统，其中在不具有分离开的阻尼元件的情况下所述波纹管的静态刚度是所述振动隔离器的静态刚度的约20％。8.根据权利要求1所述的振动隔离系统，其中在所述预定的频率范围内，包括分离开的阻尼元件的所述波纹管的组合的动态刚度...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·P·J·范兰卡韦尔特，I·A·克尔普，R·S·A·奥斯特费恩，M·H·H·奥德尼惠斯，R·M·G·赖伊斯，O·J·塞伊格尔，A·M·斯滕霍克，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰,NL
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