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本发明涉及一种基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理装置，不需要在以浮起状态搬运的基板的上方设置较大的空间，就能够搬入或搬出基板。在本发明的基板搬运装置(1)中，在夹具(51)保持基板W搬运时，出口浮起载物台(33)和辊柱式输送机(41)处...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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