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下载碰撞电离离子源的技术资料

文档序号:18499773

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本文公开了一种碰撞电离源。一个示例性的源包括:设置为接收气体和带电粒子束的电离区域,其中带电离子束电离至少部分气体;以及设置为将气体提供到电离区域的供应管道,其中供应管道具有从输入孔向输出孔减少的非均匀高度,输出孔邻近电离区域设置。...
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