下载用于测试邻近的半导体器件中的桥接的方法和测试结构的技术资料

文档序号:18428252

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测试邻近的半导体器件之间的桥接的方法包括在半导体衬底上形成图案化的扩散区域,并且在扩散区域上方形成第一导电层。将第一导电层图案化成与图案化的扩散区域相同的图案。去除第一导电层的暴露部分以暴露扩散区域的部分。在扩散区域的暴露部分上方形成源极/...
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