温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供的品字型位移测量光栅的制作方法，通过本发明提出的方法制作符合位移测量要求的长行程、品字型位移测量光栅，方法操作简单，易于实现，而且所制作的位移测量光栅体积小，重量轻，方便安装。解决了高刻线密度光栅难以做长的问题，扩大了衍射光栅位移...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。