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薄膜器件制造技术
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文档序号:18374224
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本实用新型的目的在于提供防止由于树脂层膨胀产生的应力而薄膜电阻元件破损且可靠性高的薄膜器件。在电阻薄膜(12)中的俯视时与第一金属薄膜(15a~15c)重叠的部分,由第一金属薄膜(15a~15c)将电阻薄膜(12)压向基板(1),所以能够缓...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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