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本发明公开了一种磁性靶材组件及其制备方法、溅射腔室。本发明公开的磁性靶材组件包括：背板，背板的厚度均匀；磁性靶材，磁性靶材固定于背板，且在磁性靶材的溅射面上设置有凸起的溅射损耗部，用于防止磁性靶材被溅射穿透，从而提高磁性靶材的利用率。本发明...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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