下载半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:18353567

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本发明提供半导体器件及其制造方法,其课题在于提高半导体器件的耐压。半导体器件具有由碳化硅构成的第一导电型的半导体衬底(SUB)、在半导体衬底的器件区域(DR)中的第二导电型的体区域(BR)、形成于体区域(BR)内的第一导电型的源极区域(SR...
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