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本发明提供一种基板处理装置。即使利用批量式的基板处理装置对翘曲了的基板进行处理时也能够进行多个基板的统一输送。基板处理装置具有：载置台，其载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳有从该基板处理装置的外部接收的多个基板；单张式的位置调整部，其对基...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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