基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板处理装置。即使利用批量式的基板处理装置对翘曲了的基板进行处理时也能够进行多个基板的统一输送。基板处理装置具有：载置台，其载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳有从该基板处理装置的外部接收的多个基板；单张式的位置调整部，其对基板的旋转方向位置进行逐张调整；第1基板输送机构，其进行如下操作：将收纳到基板收纳容器的多个基板中的1张基板取出而向位置调整部输送的操作；在位置调整部将旋转方向位置调整后的该1张基板向所述基板收纳容器输送的操作；第2基板输送机构，其将被第1基板输送机构输送并收纳到基板收纳容器的、旋转方向位置被调整后的多个基板从基板收纳容器统一取出。

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置
本专利技术涉及对多个基板进行成批处理的基板处理装置。
技术介绍
近年来，3DNAND等具有多层层叠构造的集成电路被实际应用化。在其制造工序中，发现在与对位用的凹口具有特定的位置关系的情况下产生半导体晶圆(基板)的比较大的翘曲这样的现象。作为批量式的基板处理装置，存在例如清洗装置，在利用基板引导件等基板保持器具以将多张例如50张基板以立起姿势沿着水平方向排列的状态保持着的状态下，通过使该基板浸渍于贮存到处理槽的处理液中，来进行处理。在批量式的基板处理装置中，为了使生产率提高，将各25张以有规律的间距收纳于两个FOUP(基板收纳容器)的基板组合，而形成由50张以半间距排列的基板构成的批次，将其统一地进行液处理(参照例如专利文献1)。在以批量式的基板处理装置对上述的翘曲了的基板进行管理的情况下，在要将基板收纳容器内的基板统一取出时，无法将基板输送装置的臂插入相邻基板之间，有可能无法进行基板的取出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-056631号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术目的在于提供一种即使是以批量式的基板处理装置对翘曲了的基板进行管理时、也本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板处理装置，其具备对多个基板进行成批处理的处理部，该基板处理装置具有：载置台，其载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳有从该基板处理装置的外部接收的多个基板；单张式的位置调整部，其对基板的旋转方向位置进行逐张调整；第1基板输送机构，其进行如下操作：将收纳到所述基板收纳容器的多个基板中的1张基板取出而向所述位置调整部输送的操作；将在所述位置调整部旋转方向位置被调整后的该1张基板向所述基板收纳容器输送的操作；第2基板输送机构，其将被所述第1基板输送机构输送并收纳到所述基板收纳容器的旋转方向位置被调整后的所述多个基板从所述基板收纳容器统一取出。

【技术特征摘要】
2016.12.09 JP 2016-2396711.一种基板处理装置，其具备对多个基板进行成批处理的处理部，该基板处理装置具有：载置台，其载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳有从该基板处理装置的外部接收的多个基板；单张式的位置调整部，其对基板的旋转方向位置进行逐张调整；第1基板输送机构，其进行如下操作：将收纳到所述基板收纳容器的多个基板中的1张基板取出而向所述位置调整部输送的操作；将在所述位置调整部旋转方向位置被调整后的该1张基板向所述基板收纳容器输送的操作；第2基板输送机构，其将被所述第1基板输送机构输送并收纳到所述基板收纳容器的旋转方向位置被调整后的所述多个基板从所述基板收纳容器统一取出。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述载置台包括在所述第1基板输送机构从所述基板收纳容器取出所述基板时载置所述基板收纳容器的第1载置台，所述第1载置台与所述位置调整部沿着上下方向排列。3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述载置台包括在所述第2基板输送机构从所述基板收纳容器取出所述基板时载置所述基板收纳容器的第2载置台，该基板处理装置还具备在所述第1载置台与所述第2载置台...

【专利技术属性】
技术研发人员：隐塚惠二，村上幸喜，星野浩澄，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP