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激光加工装置及激光加工方法制造方法及图纸
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文档序号:18324812
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提供激光加工装置及激光加工方法。本发明的激光加工装置将从激光振荡器射出的激光光线分支给包括第1和第2加工头的多个加工头,利用分支的激光光线来加工具有多个加工区域的被加工物,该激光加工装置具有:多个偏转器,被安装于多个加工头的各加工头,扫描来...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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