温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及基板清洗技术领域，公开的一种清洗装置包括用于沿第一方向输送待清洗基板的输送机构，与所述输送机构相对设置且沿所述第一方向依次设置的超声波清洗单元、药液清洗单元、二流体清洗单元、纯水清洗单元以及干燥单元。由此，该清洗装置通过多个清洗环...
该专利属于枣庄维信诺电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过枣庄维信诺电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。