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一种电化学蚀刻液，该蚀刻液为含有硫酸和磷酸的水溶液，其中，该蚀刻液中还含有表面活性剂。本发明提供的电化学蚀刻液以及蚀刻方法大大加快了蚀刻的速度，减少了侧蚀现象的发生。...
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