一种电化学蚀刻液及蚀刻方法技术

技术编号:1826964 阅读:341 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种电化学蚀刻液,该蚀刻液为含有硫酸和磷酸的水溶液,其中,该蚀刻液中还含有表面活性剂。本发明专利技术提供的电化学蚀刻液以及蚀刻方法大大加快了蚀刻的速度,减少了侧蚀现象的发生。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电化学蚀刻液,该蚀刻液为含有硫酸和磷酸的水溶液,其特征在于,该蚀刻液中还含有表面活性剂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:秦学陈梁宫清
申请(专利权)人:比亚迪股份有限公司
类型:发明
国别省市:94[中国|深圳]

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