下载连续电镀铜的方法的技术资料

文档序号:1826647

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一种连续电镀铜的方法,其中利用可溶性或不溶性阳极,工件为阴极,在容纳含有有机添加剂的硫酸铜电镀液的电镀槽中对工件进行连续电镀,所述方法包括电镀液从电镀槽溢流出到溢流槽中,由此将溢流槽中的电镀液返回到电镀槽中,设置氧化分解槽,并电镀液通过溢流...
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