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本实用新型提供了一种清洗系统以及手提式清洗装置，应用于半导体制造设备的气体管道中，气体管道包括进气口以及出气口；其中，包括：液体箱，液体箱设置有一出水口以及入水口；气体泵，一端通过一液体管道与出水口连接，另一端与气体管道的进气口连接，出气口...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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