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研磨液分配臂及其化学机械研磨方法技术
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文档序号:18188038
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本发明公开了一种研磨液分配臂,向研磨盘提供研磨液和清洗液,研磨液分配臂内设有研磨液输送管道,所述研磨液分配臂的一端设有与研磨液输送管道相连的研磨液输送管头,所述研磨液分配臂中还设有一具有多个喷嘴的清洗液输送管道,所述清洗液经由多个所述喷嘴沿...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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