下载用于埋入源极线的包含支撑基座结构的三维NAND设备及制造其的方法的技术资料

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三维存储器设备包括位于衬底上方的导电层和绝缘层的交替堆叠、存储器堆叠结构的阵列。在衬底和交替堆叠之间提供源极导电线结构。源极导电线结构包括多个平行的导电轨结构,该多个平行的导电轨结构沿着相同的水平方向延伸并邻接于公共导电跨接结构。每个存储器...
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