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本发明涉及一种掺杂非金属元素的溅射靶的制备方法，其中非金属元素包括硼、碳、氮、氧和硅。使用粉末工艺，由此将合金粉末混合、封装和进行等静热压固结，所述合金粉末包括非金属元素Ｂ／Ｃ／Ｎ／Ｏ／Ｓｉ，且非金属包括低于微米级的微观结构相。本发明的溅射...
该专利属于黑罗伊斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过黑罗伊斯有限公司授权不得商用。

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