下载大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置及监控方法的技术资料

文档序号:1805855

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本发明公开了一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置,温度传感器、压力传感器、元件损坏检测器、瓦斯信号检测器以及流量计的所采集的信号传输给监控计算机,监控计算机同时输出两路信号,一路到显示器,另一路通过D/O转换器与驱动放大电路分别控制...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。

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