大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置及监控方法制造方法及图纸

技术编号:1805855 阅读:199 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置,温度传感器、压力传感器、元件损坏检测器、瓦斯信号检测器以及流量计的所采集的信号传输给监控计算机,监控计算机同时输出两路信号,一路到显示器,另一路通过D/O转换器与驱动放大电路分别控制脉冲封锁继电器和中间继电器,进而控制脉冲触发电路和真空开关继电器,使得整流电路停止工作或高压开关断开。还公开了上述装置的监控方法,监控计算机采集温度、压力等信号与设定的标准值进行比较,比较结果为正常时,循环采集比较,直至沉积工艺结束;比较结果不正常时,则关断10KV高压电路,或者使整流电路停止工作并报警。本发明专利技术采用数据库进行管理,实现了大功率TCVI工艺系统状态的自动检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置,还涉这种监控装置的监控方法。
技术介绍
热梯度化学气相渗透工艺TCVI(Thermal-Gradient Chemical Vapor Infiltration,以下简称TCVI)是一种制备碳基和陶瓷基复合材料高效工艺,特别是碳/碳复合材料。现有的热梯度化学气相渗透工艺系统控制装置,包括脉冲触发电路19、整流电路22、调压变压器23、高压开关24,在大功率TCVI工艺沉积过程中,先将高压开关24接通,10KV高压通过调压变压器23及整流电路22变换成电压为6~42V、电流为0~37500A,来控制石墨加热电极1产生热量,提供沉积温度进而实现碳/碳复合材料的制备。因此,在大功率TCVI工艺过程中,多档变压器、整流电路和沉积炉工作是否正常可靠,将影响沉积效率和碳/碳复合材料的质量,这就需要及时有效地了解这些设备的工作状态。现有的热梯度化学气相渗透工艺系统控制装置,完全是手动操作,需要操作人员24小时值班,定时对工艺系统运行参数进行记录,一旦工艺运行出现异常情况,需要操作人员根据异常情况类型,利用手动操作切断整流电路或者高压开关电路本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置,包括脉冲触发电路(19)、整流电路(22)、调压变压器(23)、高压开关(24),其特征在于:还包括信号调理器(10)、A/D转换器(11)、监控计算机(12)、显示器(13)、D/O转换器(14)、驱动放大电路(15)、脉冲封锁继电器(16)、中间继电器(17)、真空开关继电器(21);温度传感器(5)、压力传感器(6)、元件损坏检测器(7)、瓦斯信号检测器(8)以及流量计(9)的所采集的信号,经信号调理器(10)和A/D转换器(11)传输给监控计算机(12),监控计算机(12)同时输出两路信号,一路到显示器(13),另一路通过D/O转换器(14...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李贺军孙国岭齐乐华李克智张秀莲
申请(专利权)人:西北工业大学
类型:发明
国别省市:87[中国|西安]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1