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本发明的课题在于提高载置台中的热交换介质和静电吸盘之间的热交换的效率。一个方式所涉及的载置台包括：热交换器；板，其设置在热交换器上，具有彼此相对的第一主面和第二主面，形成有在其板厚方向上延伸的多个贯通孔；静电吸盘，其具有载置基板的表面和背面...
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