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本发明针对现有的热丝化学气相沉积（热丝ＣＶＤ）法金刚石膜沉积系统中衬底温度测量不便或无法动态测量的问题，发明一种能实时连续测量衬底表面温度分布的ＣＶＤ系统衬底的无电刷测温方法及装置，其关键是将回转式衬底工作台改变为摆动式工作台，既保证衬底表...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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