一种CVD系统衬底的无电刷测温方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术针对现有的热丝化学气相沉积（热丝ＣＶＤ）法金刚石膜沉积系统中衬底温度测量不便或无法动态测量的问题，发明专利技术一种能实时连续测量衬底表面温度分布的ＣＶＤ系统衬底的无电刷测温方法及装置，其关键是将回转式衬底工作台改变为摆动式工作台，既保证衬底表面的温度均匀性，又使得热电偶测温变得十分方便，改变传统的热电偶加电刷的结构，可对衬底表面温度进行实时监控。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种热丝化学气相沉积(热丝CVD)法金刚石膜沉积系统衬底温度场测试的方法及装置，尤其是一种能够在衬底连续摆动过程中动态测量大面积衬底温度场的径向和轴线多点衬底温度的方法及装置，具体地说是一种基于曲柄连杆机构的CVD系统衬底测温方法及装置。
技术介绍
目前，金刚石是自然界中已知的最坚硬的材料，同时具有极高的热导率和传声速度、极高的耐磨性和极低的摩擦系数，成为具有优异性能的新型刀具材料。但是，天然金刚石稀少而极其昂贵，化学气相沉积方法(CVD)是近20年发展起来的新型的制备金刚石的方法，目前CVD金刚石膜的研究正逐步走向产业化，高质量稳定生长金刚石膜成为人们的研究热点。电热丝CVD成膜质量较好，设备简单，参数易于控制，制备成本低廉，适合大面积金刚石膜的产业化生产。大量研究表明，在电热丝CVD系统的工艺参数中，衬底温度的大小和均匀性是金刚石膜生长最为重要的参数之一，对金刚石薄膜的结构、晶形、膜的质量和生长速率影响很大。深入分析和研究热丝CVD系统的温度场分布对理解金刚石的沉积机理、改进热丝CVD装置和优化金刚石薄膜制备的工艺都具有重要的意义。电热丝CVD法沉积大面积通常采本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＣＶＤ系统衬底的无电刷测温方法，其特征是沿衬底工作台径向和／或轴向布置若干热电侧并通过与热电偶相连的导线将热电偶所测得的电信号引出真空室外送至控制系统，同时使衬底工作台与摆动相连，使其在摆动机构的带动下作摆动以使衬底工作台上的温度场处于均匀状态，获得最佳的金刚石膜沉积效果。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐锋，左敦稳，郭魂，卢文壮，曾荡，黎向锋，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]