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具有反应式离子蚀刻(以下称RIE)功能的连续式镀膜系统电连接于电源供应器且包含载盘并沿生产方向包含载入腔体、RIE装置、溅镀腔体及载出腔体。RIE装置包括电连接电源供应器以于执行RIE制程时作为第一极板用的蚀刻腔体及电浆局限单元。电浆局限单...
该专利属于凌嘉科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凌嘉科技股份有限公司授权不得商用。

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