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本发明提供了一种场效应晶体管式磁传感器,具有场效应晶体管结构,包括半导体基底,源极、漏极与栅极;其中,半导体基底由基底层与位于该基底层表面的半导体层组成,并且基底层与半导体层之间电绝缘,基底层具有磁致伸缩效应,半导体层具有压电效应;工作状态...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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本发明提供了一种场效应晶体管式磁传感器,具有场效应晶体管结构,包括半导体基底,源极、漏极与栅极;其中,半导体基底由基底层与位于该基底层表面的半导体层组成,并且基底层与半导体层之间电绝缘,基底层具有磁致伸缩效应,半导体层具有压电效应;工作状态...