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本发明公开了一种HDP工艺成膜方法，HDP工艺同时包括介质层淀积工艺和介质层刻蚀工艺，在采用所述HDP工艺进行成膜的过程中，采用如下步骤对所述HDP工艺进行设置：将HDP工艺的介质层淀积工艺和介质层刻蚀工艺分布拆分为多个，每一个介质层淀积工...
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