下载GaN半导体器件的技术资料

文档序号:17995688

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本实用新型公开了一种GaN半导体器件,包括:基板;设置于所述基板上的氮化铝晶种层;设置于所述氮化铝晶种层上的缓冲层;设置于所述缓冲层上的所述氮化镓层;设置于所述氮化镓层上的AlxGa1‑xN层;设置于所述AlxGa1‑xN层上的氮化铝层;设...
该专利属于英诺赛科(珠海)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英诺赛科(珠海)科技有限公司授权不得商用。

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