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提高激光器寿命和发光效率的方法技术
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下载提高激光器寿命和发光效率的方法的技术资料
文档序号:17973516
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一种提高激光器寿命和发光效率的方法,包括如下步骤:步骤1:通过电子束热蒸发方式在激光器管芯两端面分别生长高反膜和增透膜;步骤2:生长完高反膜和增透膜之后,将激光器管芯迅速置入快速热退火设备中;步骤3:提前设定好热退火条件,进行热退火;步骤4...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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