提高激光器寿命和发光效率的方法技术

一种提高激光器寿命和发光效率的方法，包括如下步骤：步骤1：通过电子束热蒸发方式在激光器管芯两端面分别生长高反膜和增透膜；步骤2：生长完高反膜和增透膜之后，将激光器管芯迅速置入快速热退火设备中；步骤3：提前设定好热退火条件，进行热退火；步骤4：冷却至室温。本发明专利技术因为引入了激光器对高反膜和增透膜进行快速热退火工艺，可以有效提高激光器的效率和寿命。

【技术实现步骤摘要】
提高激光器寿命和发光效率的方法
本专利技术涉及一种提高激光器寿命和发光效率的方法，特别是指Si/SiO2(高反膜)、Al2O3(高反膜)为代表的光学介质膜。
技术介绍
半导体激光器的效率是指激光器管芯有效出光功率占输入激光器电功率的比例，是表征激光器性能的重要指标。高效率半导体激光器在国际上得到了快速发展并逐渐应用，但是国内在相当长的一段时间内，半导体激光器的效率始终没有特别大的提高，导致激光器功率没有大幅度提到，大大阻碍了我国半导体激光器发展和应用的进程。效率高功率半导体激光器可以用于泵浦泵浦(光纤)激光器，此类激光器还需要具有高寿命和高可可靠性，能够连续工作上万小时而性能不下降。高效率高功率半导体的另一重要领域是材料处理和加工，可以直接取代传统的加工手段直接用于材料的热处理、切割、精密焊接等。此类激光器还可以应用于包括泌尿科、内科、妇科、耳鼻喉科等医学领域。激光作用于人体组织可以产生包括电场效应、生物刺激效应、压场效应、热效应等多种效应，这些效应可以人体组织影响形态或者机能从而预防病变和疾病。此外高效率半导体激光器在军事上也起着重要的作用。总之，高效率高功率半导体激光器将在更广更本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高激光器寿命和发光效率的方法，包括如下步骤：步骤1：通过电子束热蒸发方式在激光器管芯两端面分别生长高反膜和增透膜；步骤2：生长完高反膜和增透膜之后，将激光器管芯迅速置入快速热退火设备中；步骤3：提前设定好热退火条件，进行热退火；步骤4：冷却至室温。

【技术特征摘要】
1.一种提高激光器寿命和发光效率的方法，包括如下步骤：步骤1：通过电子束热蒸发方式在激光器管芯两端面分别生长高反膜和增透膜；步骤2：生长完高反膜和增透膜之后，将激光器管芯迅速置入快速热退火设备中；步骤3：提前设定好热退火条件，进行热退火；步骤4：冷却至室温。2.根据权利要求1所述的提高激光器寿命和发光效率的方法，其中热退火分为三步，第一步是5秒钟由...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢圣文，杨成奥，张宇，牛智川，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11