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本发明是光刻系统基于CCD成像相干因子测量系统装置，通过针孔、旋转平台、手动X‑Y位移平台实现CCD感光面和透镜焦平面一致的校准。在CCD上建立合适的坐标系，然后在针孔上取一点，通过透镜成像在CCD上，求出此点的质心，得到第一个坐标点A`。...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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