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本发明提供一种沟槽弯曲度测量方法及装置，以及一种缺陷数量预测方法及装置。其中，该沟槽弯曲度测量方法，包括：获取待测区域的形貌影像，根据所述形貌影像确定所述待测区域内沟槽的粗糙度，根据所述粗糙度确定所述待测区域的沟槽弯曲度。相较于现有技术，本...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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