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本发明提供一种基于超分辨光刻的间隙检测装置，所述的装置由光源发出的光经Y型光纤导入光纤准直镜，在掩模的半透半反窗口产生分光，其中一束光反射回到光纤准直镜内部，另一束光经掩模的半透半反窗口透射后，经基片表面反射，透过掩模的半透半反窗口被光纤准...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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