下载具有带偏移半导体源极/漏极衬垫的高迁移率场效应晶体管的技术资料

文档序号:17961503

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

单片FET包括设置在衬底之上的第一半导体材料中的多数载流子沟道。在诸如栅极堆叠或牺牲栅极堆叠之类的掩模覆盖沟道区时,例如至少在沟道区的漏极端部上生长具有相对于沟道材料的带偏移的半导体材料的半导体衬垫以在沟道半导体和第三III‑V半导体材料的...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。