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具有反向掺杂的掺杂剂扩散屏障的高电子迁移率晶体管制造技术
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下载具有反向掺杂的掺杂剂扩散屏障的高电子迁移率晶体管的技术资料
文档序号:17961471
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可以在设置于硅衬底之上的III‑V半导体材料的有源区中形成诸如晶体管之类的III‑V化合物半导体器件。III‑V半导体材料的反向掺杂的部分提供阻止从衬底到III‑V半导体材料中的硅扩散的扩散屏障,其中它否则可能在III‑V材料中表现为电活性...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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