下载机械手组件、基板处理装置和用于在电子设备制造中传送基板的方法的技术资料

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机械手组件允许载具支撑的机械手的远程致动。所述机械手组件包含轨道;载具,所述载具可沿着所述轨道移动;和机械手,所述机械手安装至所述载具。所述机械手包含至少第一臂和第一从动构件,所述第一从动构件耦接至所述第一臂。所述机械手组件进一步包含驱动组...
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