机械手组件、基板处理装置和用于在电子设备制造中传送基板的方法制造方法及图纸

机械手组件允许载具支撑的机械手的远程致动。所述机械手组件包含轨道；载具，所述载具可沿着所述轨道移动；和机械手，所述机械手安装至所述载具。所述机械手包含至少第一臂和第一从动构件，所述第一从动构件耦接至所述第一臂。所述机械手组件进一步包含驱动组件，所述驱动组件具有第一驱动构件，第一传输构件，所述第一传输构件耦接至所述第一驱动构件和所述第一从动构件，和第一驱动电动机，所述第一驱动电动机耦接至所述第一驱动构件。所述第一驱动电动机经配置以移动所述第一驱动构件，造成所述第一从动构件的远程旋转和所述第一臂的旋转。还提供基板处理装置和在基板处理装置内传送基板的方法，如其他众多方面。

Manipulator assembly, substrate processing device, and method for transporting substrates in electronic equipment manufacturing

The manipulator assembly allows remote actuation of the manipulator supported by the vehicle. The manipulator assembly comprises a track; a carrier, which can move along the track; and a manipulator, the manipulator is mounted to the carrier. The manipulator comprises at least one arm and a first driven member, and the first driven member is coupled to the first arm. The manipulator component further includes a driving component, which has a first drive member, a first transmission member, coupled to the first drive member and the first driven member, and the first driving motor, and the first drive electric machine coupled to the first drive member. The first drive motor is configured to move the first driving member, causing the remote rotation of the first driven member and the rotation of the first arm. A substrate processing device and a method of transmitting a substrate in a substrate processing device are also provided, for example, many other aspects.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】机械手组件、基板处理装置和用于在电子设备制造中传送基板的方法相关申请本申请主张于2015年10月23日递交的美国非临时专利申请第14/921,806号的优先权，上述专利申请题为“ROBOTASSEMBLIES,SUBSTRATEPROCESSINGAPPARATUS,ANDMETHODFORTRANSPORTINGSUBSTRATESINELECTRONICDEVICEMANUFACTURING”(代理案号23250/USA)，针对所有目的特此以参考方式并入于此。
本专利技术涉及电子设备制造，更特别地涉及机械手组件、基板处理装置、和操作用于传送基板的机械手的方法。
技术介绍
常规的电子设备制造系统可包含多个处理腔室和一个或多个装载锁定腔室。这样的处理腔室和一个或多个装载锁定腔室可包含于群集工具中，例如，基板在群集工具中可于个别处理腔室和一个或多个装载锁定腔室之间传送。这些系统可采用一个或多个机械手以在多种腔室之间移动基板，在一些实施方式中一个或多个机械手可驻于传递腔室中。在这样的移动期间，基板可被支撑于一个或多个机械手的终端受动器(有时称作“叶片(blade)”)上。针对快速系统生产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机械手组件，包括：轨道；载具，所述载具可沿着所述轨道移动；机械手，所述机械手安装至所述载具，所述机械手包含至少第一臂和第一从动构件，所述第一从动构件耦接至所述第一臂；和驱动组件，包含：第一驱动构件，第一传输构件，所述第一传输构件耦接至所述第一驱动构件和所述第一从动构件，所述第一传输构件沿着所述轨道的长度延伸，和第一驱动电动机，所述第一驱动电动机耦接至所述第一驱动构件，所述第一驱动电动机经配置以移动所述第一驱动构件，造成所述第一从动构件的旋转和所述第一臂的旋转。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.23 US 14/921,8061.一种机械手组件，包括：轨道；载具，所述载具可沿着所述轨道移动；机械手，所述机械手安装至所述载具，所述机械手包含至少第一臂和第一从动构件，所述第一从动构件耦接至所述第一臂；和驱动组件，包含：第一驱动构件，第一传输构件，所述第一传输构件耦接至所述第一驱动构件和所述第一从动构件，所述第一传输构件沿着所述轨道的长度延伸，和第一驱动电动机，所述第一驱动电动机耦接至所述第一驱动构件，所述第一驱动电动机经配置以移动所述第一驱动构件，造成所述第一从动构件的旋转和所述第一臂的旋转。2.如权利要求1所述的机械手组件，包括：第二驱动构件；第二传输构件，所述第二传输构件耦接至所述第二驱动构件，所述第二传输构件耦接至所述载具并且沿着所述轨道的长度延伸；和第二驱动电动机，所述第二驱动电动机耦接至所述第二驱动构件，并且经配置以在造成所述第二驱动构件的旋转之后，沿着所述轨道移动所述载具。3.如权利要求1所述的机械手组件，其中所述机械手包括第二臂、耦接至所述第二臂的第三从动构件、第三驱动构件和第三传输构件，所述第三传输构件耦接于所述第三驱动构件和所述第三从动构件之间，所述第三传输构件沿着所述轨道的长度延伸。4.如权利要求1所述的机械手组件，包括第三臂、耦接至所述第三臂的终端受动器，其中所述终端受动器经配置以载送基板。5.如权利要求1所述的机械手组件，包括第一惰轮构件和第二惰轮构件，所述第一惰轮构件耦接至所述第一传输构件，所述第二惰轮构件耦接至第二传输构件。6.如权利要求5所述的机械手组件，包括第三惰轮构件，所述第三惰轮构件耦接至第三传输构件。7.如权利要求1所述的机械手组件，包括：基底、耦接至所述基底的第一端的驱动组件和耦接至所述基底的第二端的至少两个惰轮构件。8.如权利要求1所述的机械手组件，包括第一惰轮组件，包含：第一惰轮构件，所述第一惰轮构件可旋转地安装至第一惰轮外壳并且与所述第一传输构件接触，所述第一惰轮外壳在第一纵向位置处可紧固至基底。9.如权利要求8所述的机械手组件，包括第二惰轮组件，所述第二惰轮组件包含：第二惰轮构件，所述第二惰轮构件可旋转地安装至第二惰轮外壳并且与第二传输构件接触，所述第二惰轮外壳在第二纵...

【专利技术属性】
技术研发人员：保罗·Z·沃思，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US