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提供用于毫秒退火系统的预热方法。在一个示例性实施方式中，预热方法可以包括：将衬底置于在毫秒退火系统的处理室中的晶片支承板上；使用温度传感器获得晶片支承板的一个或更多个温度测量值；以及至少部分基于晶片支承板的温度来应用预热制度以加热晶片支承板...
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