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用于使用灵活取样的过程控制的方法及系统技术方案
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下载用于使用灵活取样的过程控制的方法及系统的技术资料
文档序号:17961250
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产生灵活的稀疏度量取样图包含:从度量工具接收来自一或多个晶片的度量信号全集;基于所述度量信号全集来确定一组晶片性质,且计算与所述组晶片性质相关联的晶片性质度量;基于所述度量信号全集来计算一或多个独立特性度量;以及基于所述组晶片性质、所述晶片...
该专利属于科磊股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科磊股份有限公司授权不得商用。
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