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本公开内容的实施方式大体提供用于在处理腔室中支撑气体分配喷头的设备和方法。在一个实施方式中，用于真空腔室的气体分配喷头包括：矩形主体，所述矩形主体具有四个侧面、第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面、在第一主表面和第二主表面之间的在纵向方...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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