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本文提供用于处理腔室中的RF脉冲反射减量的方法与系统。在一些实施例中，方法包括以下步骤：(a)在第一时间周期期间从多个RF产生器提供多个脉冲RF功率波形，(b)确定多个脉冲RF功率波形中的每一者的初始反射功率分布，(c)针对多个脉冲RF功率...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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