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一种用于带电粒子束装置的检测器包含：衬底；提供在所述衬底上的数个第一传感器装置，其中所述第一传感器装置被构造成敏感于由样本弹射的电子，并响应于所述电子而生成第一信号；以及提供在所述衬底上的数个第二传感器装置，其中所述第二传感器装置被构造成敏...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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